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France-Grenoble: Electronic equipment

OJEU Ref

013502-2020

Type

Contract awards

Date Published

2020-01-13

Nature Of Contract

Supply contract

Awarding Authority

Body goverened by public law

Awarding Criteria

The most economic tender

Procedure

Open procedure

CONTRACT AWARD



Section I: Contracting authority

I.1) Name and addresses:
Official name: CEA/Grenoble
Postal address: 17 rue des Martyrs
Town: Grenoble Cedex 9
Postal code: 38054
Country: FR
Contact person: Dr Catherine Sénémaud
Telephone: +33 438780524
E-mail: catherine.senemaud@cea.fr
NUTS code: FRK24
Main address (URL): www.cea.fr
Address of the buyer profile (URL): https://www.marches-publics.gouv.fr
I.4) Type of the contracting authority: BODY PUBLIC
I.5.2) Other activity -
Recherche

Section II: Object of Contract


Title:
Équipement de nettoyage (stripping) de lots de wafers 200 mm par solvant pulvérisé
Reference number: AOO_190660-sc

II.1.4) Short description
Le CEA/LETI envisage l’acquisition d’un équipement de stripping humide pour wafer 200 mm.
L’équipement sera installé en salle blanche, pour être utilisé 24 h/24 h et 7 jours/7.
Cet équipement de type «spray batch tool», entièrement automatisé, sera utilisé pour des procédés de stripping résine avec utilisation de chimie typée solvant.
Il pourra prendre en charge en charge des séries de 25 wafers de 200 mm de silicium.
Le CEA étudiera les propositions pour un équipement neuf, ou un équipement d'occasion, entièrement remis à neuf, dont l'année de première mise en service ne sera pas antérieure à 2018.
Total Value:
EUR 1.00

Information about lots
II.1.6) This contract is divided into lots: no

Description: Item/Lot 1
NUTS code: FRK24
II.2.3.2) Main site or place of performance:
CEA Grenoble.
II.1.4) Short description
Le CEA/LETI envisage l’acquisition d’un équipement de stripping humide pour wafer 200 mm.
L’équipement sera installé en salle blanche, pour être utilisé 24 h/24 h et 7 jours/7.
Cet équipement de type «spray batch tool» sera utilisé pour des procédés de stripping résine avec utilisation de chimie typée solvant.
Il pourra prendre en charge en charge des séries de 25 wafers de 200 mm de silicium.
Il sera utilisé après des process de gravure plasma ou humide, photolithographie ou d’implantation ionique; son efficacité se traduira donc par un retrait de la résine et des polymères engendrés à l’étape précédente.
L’équipement devra accepter des matériaux diélectriques et des métaux dont la compatibilité devra être assurée conformément aux spécifications.
Pour garantir une bonne efficacité du process l’équipement devra permettre un contrôle précis en température et en débit des solvants; en outre, pour des raisons de sécurité, le process devra être automatisé.
II.2.5) Award criteria:

Criteria: Conformité aux spécifications process
Weighting: 25

Criteria: Configuration
Weighting: 10

Criteria: Fiabilité
Weighting: 10

Criteria: Délais
Weighting: 10
Cost/Price
Weighting: 45



Additional information:
Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «valeur totale du marché» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix des fournitures sans violer le secret des affaires.

Section IV: Procedure

IV.1.1) Type of procedure: Open

IV.02.01) Notice number in the OJ S 2019/S 207-503969

Contract No:
4000863058
Title:
Équipement de nettoyage (stripping) de lots de wafers 200 mm par solvant pulvérisé

2019-12-09

2
0
2
0
2




Official name: Siconnex Customed Solutions GmbH
National registration number: 226345 K
Town: Salzburg
Country: AT
NUTS code: ATZ
V.2.3) The contractor is an SME: no

Total Value:
EUR 1.00

Section V: Complementary information


Additional information:
Il a été indiqué 1.00 à la rubrique «valeur totale du marché» uniquement parce que le champ est bloquant pour la publication de l'avis d'attribution et que le CEA ne peut pas indiquer le véritable prix des fournitures sans violer le secret des affaires.
Modalités de consultation du marché: un exemplaire du marché est disponible auprès du CEA dont les coordonnées sont précisées à la section I du présent avis. La consultation s’effectue dans le respect des secrets protégés par la loi.

Review body:
Official name: Tribunal administratif de Grenoble
Postal address: 2 place de Verdun
Town: Grenoble
Postal code: 38000
Country: FR
Telephone: +33 476429000
E-mail: ta-grenoble@juradm.fr
Fax: +33 476422269
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/
VI.04.03) Precise information on deadline(s) for review procedures
Le référé précontractuel peut être introduit depuis le début de la procédure de passation jusqu'à la signature du marché. Le référé contractuel peut être introduit dans les conditions des articles L. 551-13 et suivants du code de justice administrative. Le recours en contestation de la validité du marché par un tiers peut être intenté dans un délai de 2 mois à compter des mesures de publicité appropriées.

VI.04.04) Service from which information about the review
Official name: Tribunal administratif de Grenoble
Postal address: 2 place de Verdun
Town: Grenoble
Postal code: 38000
Country: FR
Telephone: +33 476429000
E-mail: ta-grenoble@juradm.fr
Fax: +33 476422269
URL: http://grenoble.tribunal-administratif.fr/

Section VI

VI.05.00) Date of dispatch of this notice 2020-01-09

English Language Unavailable


31710000; Electronic equipment;